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東莞市夏陽(yáng)新材料有限公司

202558星期四 14時(shí)0839

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半導(dǎo)體設(shè)備
陶瓷真空吸盤
陶瓷真空吸盤 是一種特殊的真空吸盤采用多孔陶瓷材料制成,具有高孔隙率、高強(qiáng)度、高平整度等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的切割、研磨、檢測(cè)等工序

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、精度高

2、氣密性好

3、吸附力均勻

4、耐磨損、耐腐蝕

其可達(dá)到平面度0.002mm,平行度可達(dá)到0.003mm

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材料 孔徑(um)孔隙率壓差(bar)電阻率顏色
氧化鋁5-5015-45%351x1011深灰色/土黃色
碳化硅10-5015-45%301x108黑色

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